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    產品詳細頁
    白光干涉測厚儀

    白光干涉測厚儀

    • 產品介紹:白光干涉測厚儀根據反射回來的干涉光,用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。
    • 產品型號:Detla
    • 更新時間:2025-09-30
    • 廠商性質:生產廠家
    • 產品品牌:貝拓科學
    • 產品廠地:廣州市
    • 訪問次數:7600
    • 在線留言 400-875-1717轉809

    產品介紹

    品牌貝拓科學價格區間面議
    產地類別國產應用領域化工,生物產業,電子/電池,包裝/造紙/印刷,紡織/印染

         白光干涉測厚儀介紹

        白光干涉儀利用薄膜干涉光學原理,對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。TF200根據反射回來的干涉光,用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。
    白光干涉膜厚儀

        白光干涉測厚儀特點

        快速、準確、無損、靈活、易用、性價比高

        應用案例

        應用領域

        半導體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)

        LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)

        LED(SiO2、光刻膠ITO等)

        觸摸屏(ITOARCoating反射/穿透率測試等)

        汽車(防霧層、HardCoatingDLC等)

        技術參數

    型號

    TF200-VIS

    TF200-EXR

    TF200-DUV

    TF200-XNIR

    波長范圍

    380-1050nm

    380-1700nm

    190-1100nm

    900-1700nm

    厚度范圍

    50nm-40um

    50nm-300um

    1nm-30um

    10um-3mm

     

    準確度1

    2nm

    2nm

    1nm

    10nm

    精度

    0.2nm

    0.2nm

    0.2nm

    3nm

    入射角

    90°

    90°

    90°

    90°

    樣品材料

    透明或半透明

    透明或半透明

    透明或半透明

    透明或半透明

    測量模式

    反射/透射

    反射/透射

    反射/透射

    反射/透射

     

    光斑尺寸2

    2mm

    2mm

    2mm

    2mm

    是否能在線

    掃描選擇

     

    XY可選

    XY可選

    XY可選

    XY可選

    注:1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。

          2.可選微光斑附件。

     

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